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产品技术
正膜Al₂O₃
夸父®系列KF20000批量式ALD系统
夸父系列工业批量型原子层沉积系统采用365体育原创的反应腔体设计和先进的薄膜沉积及自动化集成技术,可为高效晶硅太阳能电池表面钝化提供高质量超薄钝化膜的制备,确保电池光电转换效率的进一步提升。基于成功量产机型的设计原理,夸父系列 ALD薄膜钝化系统是beat365官方最新版原创设计的第五代产品,代表了光伏行业国产创新设备的先进技术,在提供超高产能的同时,最大程度降低设备的运营成本,为客户提供可靠的量产解决方案,引领光伏产业化高效电池智能化制造。
销售邮箱
semisale@leadmicro.com
产品特点
适用于PERC, PERT, TOPCon, XBC, HJT, Perovskite, Tandem-Cell等高效电池技术的应用
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可制备薄膜包括Al₂O₃, SiO₂, TiO₂, ZnO, SnO₂, HfO₂, ZrO₂等
2
单腔最大装片量可达3360片/批次,兼容M10-M12硅片尺寸,升级切换简单
3
精确实现原子层级薄膜厚度控制(1-10 nm,可调),具备优异的薄膜厚度均匀性
4
独立运行反应腔体,确保最大化设备运行率(>99%)
5
提供定制化复杂纳米叠层工艺以及CVD兼容功能
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